光学薄膜技术的新进展 |
| |
引用本文: | 黄心耕,王素英.光学薄膜技术的新进展[J].控制工程(北京),1998(6):1-7. |
| |
作者姓名: | 黄心耕 王素英 |
| |
摘 要: | 本文简要介绍了96年欧洲真空镀膜会议概况,结合94年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容,对欧洲各国光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍,尤其着重于广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软x射线多层膜及其相应镀膜技术-离子镀和离子辅助镀技术、低压反应离子镀和等离子辅助镀技术的研究、发展及应用情况。
|
关 键 词: | 光学薄膜 薄膜技术 类金刚石 软x射线 多层膜 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|