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光学薄膜技术的新进展
引用本文:黄心耕,王素英.光学薄膜技术的新进展[J].控制工程(北京),1998(6):1-7.
作者姓名:黄心耕  王素英
摘    要:本文简要介绍了96年欧洲真空镀膜会议概况,结合94年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容,对欧洲各国光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍,尤其着重于广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软x射线多层膜及其相应镀膜技术-离子镀和离子辅助镀技术、低压反应离子镀和等离子辅助镀技术的研究、发展及应用情况。

关 键 词:光学薄膜  薄膜技术  类金刚石  软x射线  多层膜
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