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| 压电纳米控制器 | |
| 摘 要： | 正(2015-19-俄罗斯-4)1.压电纳米控制器PSF-3纳米控制器PSF-3是一种3轴控制系统,由操纵杆或计算机控制,集高分辨率(~0.4nm)、持续温度稳定(在20℃情况下,漂移小于2nm/h)和大位移(每轴10mm)于一体。结构的技术诀窍在于外方开放的压电马达PM-20R及其控制原理。当电机断电时,它可以自动锁定运动,几乎没有死角和漂移。技术性能指标:位移范围10 mm最小步0.4 nm漂移(20°C情况下)2 nm/h速度范围(步–连续)5нм/s-500мкм/s压电冲击(位移/加速)1-40мкм/g最大承载能力1.5 k G |
| 关 键 词： | 控制原理 速度范围 计算机控制 技术诀窍 技术性能指标 高分辨率 承载能力 控制系统 消耗功率 旋转型 |
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