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单一光学平板作为激光束剪切干涉元件的几个问题
引用本文:徐德衍,邹海兴.单一光学平板作为激光束剪切干涉元件的几个问题[J].光学仪器,1981(4).
作者姓名:徐德衍  邹海兴
作者单位:中科院上海光机所,中科院上海光机所
摘    要:本文从检测干涉条纹的精度与质量出发,讨论了光学平板作为剪切干涉元件本身若干技术问题,其中包括平板平行度,平板表面局部误差以及两表面膜层反射率的匹配等。

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