单一光学平板作为激光束剪切干涉元件的几个问题

本文从检测干涉条纹的精度与质量出发,讨论了光学平板作为剪切干涉元件本身若干技术问题,其中包括平板平行度,平板表面局部误差以及两表面膜层反射率的匹配等。