旋转超声钻削碳化硅金刚石工具磨损实验研究

有关旋转超声钻削金刚石工具磨损机理的研究极为匮乏。通过利用数字显微镜跟踪观察旋转超声钻削碳化硅过程中金刚石工具表面形貌特征的变化,对旋转超声钻削金刚石工具磨损机理进行实验观察。旋转超声钻削碳化硅时金刚石工具的磨损机理包括金刚石磨粒磨耗磨损、金刚石磨粒破碎磨损和金刚石磨粒脱落,实验结果表明,金刚石磨粒脱落是旋转超声钻削金刚石工具的主要磨损机理。