提高氢化炉安全运行可靠性的自动控制方案研究

改良西门子法生产多晶硅是当今多晶硅生产主流工艺,在生产电子级多晶硅过程中,确保四氯化硅热氢化生产平稳长周期运行,消除因异常情况处理不及时或人为误操作造成的经济损失,是多晶硅企业必须解决的关键问题。现从实际生产出发,分析总结出一套控制方案,对氢化炉诸如四氯化硅流量和氢气流量低、尾气超压等7类异常情况进行分析,利用集散控制系统,通过异常情况下工艺参数自诊断、偏差报警、自动降功率、流量控制阀输出开度限位等6项措施,将异常情况下风险降至最低,提高了氢化炉运行安全性,预防了事故的发生,能最短时间内完成异常情况的处理。