|
|||||
|
|
| 316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究 | |
| 引用本文： | 冯军,童洪辉,金凡亚,陈美艳,赖新春.316L不锈钢直流磁控溅射制备铝膜的工艺研究[J].金属热处理,2015(1):111-115. |
| 作者姓名： | 冯军 童洪辉 金凡亚 陈美艳 赖新春 |
| 作者单位： | 1. 核工业西南物理研究院，四川成都 610041; 南华大学电气工程学院，湖南衡阳 421001 2. 核工业西南物理研究院,四川成都,610041 3. 四川材料与工艺研究所,四川江油,621700 |
| 基金项目： | ITER计划国内配套专项课题(2013GB110006)；国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 采用直流磁控溅射在316L不锈钢上制备了高质量的Al膜,并利用扫描电镜、X射线衍射仪分别对镀层的形貌和结构及应力进行了分析。结果表明,温度、溅射功率之间的合理配置才能制备致密性高、表面缺陷少的Al膜,较优工艺参数温度为170℃、溅射功率1400 W;温度比溅射功率更容易改善结晶度,当溅射功率高、基体温度低,薄膜趋向非晶态;制备的薄膜应力小,最大约为0.176 GPa,微结构对应力影响大。 |
| 关 键 词： | 铝膜 316L不锈钢 直流磁控溅射 结晶度 致密性 残余应力 |
Aluminum thin film deposited on 316 L stainless steel by DC magnetron sputtering |
|
| Feng Jun,Tong Honghui,Jin Fanya,Chen Meiyan,Lai Xinchun.Aluminum thin film deposited on 316 L stainless steel by DC magnetron sputtering[J].Heat Treatment of Metals,2015(1):111-115. | |
| Authors: | Feng Jun Tong Honghui Jin Fanya Chen Meiyan Lai Xinchun |
| Affiliation: | Feng Jun;Tong Honghui;Jin Fanya;Chen Meiyan;Lai Xinchun;Southwestern Institute of Physics;College of Electrical Engineering,University of South China;Sichuan Institute of Materials and Technology; |
| Abstract: | |
| Keywords: | aluminum thin film 316L stainless steel DC magnetron sputtering crystallinity density residual stress |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |