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| Y60A单晶炉的电气控制系统 | |
| 作者姓名： | 梁秀梅 张冰毅 董淑梅 |
| 作者单位： | 西安理工大学晶体生长设备研究所!西安710048 |
| 摘 要： | 介绍了Y6 0A型单晶炉电气控制系统设计思路及工作原理 ,试验数据表明其提拉速度精度、控温精度、控温均匀度等技术指标的先进性。 |
| 关 键 词： | 单晶炉 控温精度 控温均匀度 提拉速度精度 |
| 文章编号： | 1004-4507(2000)01-0039-03 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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