|
|||||
|
|
| 激光双法布里：珀罗干涉纳米测量系统的理论分布 | |
| 作者姓名： | 陈本永 朱若谷 |
| 作者单位： | [1]浙江大学机械系精测教研室 [2]中国计量学院计测系精仪教研室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金!资助项目(编号:59775087) |
| 摘 要： | 本文设计了一种基于双法布里－珀罗干涉仪、采用计算机实时处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统，描述了该系统的工作原理，详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里－珀罗干涉仪透射光强基波幅差值差或等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础，分析了轻拍式探针的振动模型，给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。 |
| 关 键 词： | 纳米测量 双法布里－珀罗 干涉仪 激光干涉仪 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |