| TiO2-WO3复合薄膜型气敏传感器性质研究 |
| |
| 引用本文： | 冯庆,王新强,刘高斌,王万录. TiO2-WO3复合薄膜型气敏传感器性质研究[J]. 真空科学与技术学报, 2007, 27(4): 278-281 |
| |
| 作者姓名： | 冯庆 王新强 刘高斌 王万录 |
| |
| 作者单位： | 1. 重庆大学数理学院,重庆,400044;重庆师范大学物理系,重庆,400046
2. 重庆大学数理学院,重庆,400044 |
| |
| 摘 要： | 二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料，常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化畅薄膜，在500℃下退火2h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明，该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。
|
| 关 键 词： | 气敏传感器 电子束蒸发 n型金属氧化物 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）04-278-04 |
| 修稿时间： | 2006-09-20 |
Characterization of Gas Sensors Fabricated with TiO2-WO3 Composite Film |
| |
| Feng Qing,Wang Xinqiang,Liu Gaobin,Wang Wanlu. Characterization of Gas Sensors Fabricated with TiO2-WO3 Composite Film[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2007, 27(4): 278-281 |
| |
| Authors: | Feng Qing Wang Xinqiang Liu Gaobin Wang Wanlu |
| |
| Affiliation: | 1. College of Mathematics and Physics, Chongqing University, Chongqing , 400044, China ;2. Department of Physics, Chongqing Normal University, Chongqing, 400046, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | TiO2 WO3 |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
