| C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究 |
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| 引用本文： | 吴鹏飞,张国俊,钟志亲,戴丽萍,王姝娅. C型MEMS平面微弹簧弹性系数研究[J]. 压电与声光, 2012, 34(3): 470-472 |
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| 作者姓名： | 吴鹏飞 张国俊 钟志亲 戴丽萍 王姝娅 |
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| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054 |
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| 摘 要： | 设计了一种新型的C型微机电系统(MEMS)平面微弹簧,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧在3个方向(即x,y和z方向)上的弹性系数计算公式,用ANSYS进行有限元仿真,结果验证了公式推导的正确性。在公式计算和仿真的基础上,研究了各种结构参数对其弹性系数的影响规律。
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 有限元方法 |
Study on the Elastic Coefficient of C form MEMS Planar Microsprings |
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| WU Pengfei,ZHANG Guojun,ZHONG Zhiqin,DAI Liping and WANG Shuya. Study on the Elastic Coefficient of C form MEMS Planar Microsprings[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2012, 34(3): 470-472 |
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| Authors: | WU Pengfei ZHANG Guojun ZHONG Zhiqin DAI Liping WANG Shuya |
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| Affiliation: | (State Key Lab.of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS planar microspring elastic coefficient finite element method(FEM) |
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