| Nb2O5薄膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 赵彦钊,Li ZhiXian,马新耀,Yang Shengxu,贾效之. Nb2O5薄膜的制备及性能研究[J]. 中国陶瓷, 2008, 44(8) |
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| 作者姓名： | 赵彦钊 Li ZhiXian 马新耀 Yang Shengxu 贾效之 |
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| 作者单位： | 陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅科技专项项目 |
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| 摘 要： | 以NbCl5作为前驱物，用微波催化的溶胶-凝胶法制备了Nb2O5薄膜，并在不同温度下进行热处理。经透过率测试及用X射线衍射分析仪和原子力显微镜对薄膜的相结构和表面形貌进行测试分析，测试结果表明：制得的薄膜主晶相为假六方Nb2O5晶相（TT-Nb2O5晶相）。薄膜厚度具有良好的透光率、良好的空架结构。
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| 关 键 词： | Nb2O5 溶胶-凝胶法 薄膜 |
THE PREPARATION AND STUDY ON THE PERFORMANCE OF THE Nb2O5 FILM |
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| Zhao YanZhao,Li ZhiXian,Ma Xinyao,Yang Shengxu,Jia Xiaozhi. THE PREPARATION AND STUDY ON THE PERFORMANCE OF THE Nb2O5 FILM[J]. China Ceramics, 2008, 44(8) |
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| Authors: | Zhao YanZhao Li ZhiXian Ma Xinyao Yang Shengxu Jia Xiaozhi |
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