| 中频波面的旋转平移法干涉绝对检验 |
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| 引用本文： | 袁群,高志山,张聪旸,成金龙,朱波.中频波面的旋转平移法干涉绝对检验[J].光学精密工程,2013,21(3). |
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| 作者姓名： | 袁群 高志山 张聪旸 成金龙 朱波 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京,210094 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目，中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验.本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验.将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分.与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1 nm rms.在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量.采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性.
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| 关 键 词： | 干涉术 绝对检验 波纹度 旋转 平移 |
Absolute interferometric testing of mid-spatial frequency wavefront by rotation and displacement technique |
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| YUAN Qun
,
GAO Zhi-shan
,
ZHANG Cong-yang
,
CHENG Jin-long
,
ZHU Bo.Absolute interferometric testing of mid-spatial frequency wavefront by rotation and displacement technique[J].Optics and Precision Engineering,2013,21(3). |
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| Authors: | YUAN Qun GAO Zhi-shan ZHANG Cong-yang CHENG Jin-long ZHU Bo |
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