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Cu丝上沉积Ti/TiN多层膜的研究
引用本文:宋贵宏,金弢,熊焰,娄茁,杜昊. Cu丝上沉积Ti/TiN多层膜的研究[J]. 真空, 2011, 48(4)
作者姓名:宋贵宏  金弢  熊焰  娄茁  杜昊
作者单位:1. 沈阳工业大学材料科学与工程学院,辽宁沈阳,110870
2. 沈阳市红十字会医院泌尿内科,辽宁沈阳,110013
3. 中国科学院金属研究所材料表面工程研究部,辽宁沈阳,110016
基金项目:辽宁省教育厅计划项目(20092464); 沈阳市科学技术计划项目(编号1091162-9-00)经费支持
摘    要:铜丝可用于尿毒症患者腹膜透析置管术中的替代导丝。为了减少或消除铜离子对生物组织的损害,增加铜丝表面的生物相容性,同时又保持铜丝较好的塑性变形能力,本文采用电弧离子镀工艺在铜丝上沉积Ti/TiN多层膜。研究结果显示,镀膜铜丝表面光亮呈金黄色。沉积膜有明显的周期性层状特征,TiN相和金属Ti相周期性交替分布。其中,TiN相具有(111)晶面择优取向。沉积膜与铜丝结合良好,弯曲时镀膜铜丝没有出现微裂纹和膜脱落现象。室温消毒液浸泡和高温蒸汽消毒处理后,镀膜铜丝表面没有变化。腹膜透析置管术中使用镀膜铜丝,患者腹膜炎发生率明显降低,镀制Ti/TiN多层膜的铜丝适合应用于腹膜透析手术。

关 键 词:Ti/TiN多层膜  生物相容性  层状特征  结合强度  韧性  

Deposition of the Ti/TiN multilayer films on Cu filament
SONG Gui-hong,JIN Tao,XIONG Yan,LOU Zhuo,DU Hao. Deposition of the Ti/TiN multilayer films on Cu filament[J]. Vacuum(China), 2011, 48(4)
Authors:SONG Gui-hong  JIN Tao  XIONG Yan  LOU Zhuo  DU Hao
Affiliation:SONG Gui-hong1,JIN Tao2,XIONG Yan2,LOU Zhuo1,DU Hao3(1.School of Material Science & Technology,Shenyang University of Technology,Shenyang 110870,China,2.Department of Nephrology,Shenyang Red Cross Hospital,Shenyang 110013,3.Division of surface engineering of Materials,Institute of Metal Research,Shenyang 110016,China)
Abstract:Ti/TiN multilayer films were deposited on Cu filament by arc ion plating to investigate its possibility to be used for inserting peritoneal catheters in continuous ambulatory peritoneal dialysis.Results show that the deposited Ti/TiN films have gold color with smooth surface.The films possess an obvious periodically laminated characteristic with alternately distributed TiN phase and Ti phase and the TiN phase shows(111) preferred orientation.It is indicated that the films have high adhesive force to Cu fila...
Keywords:Ti/TiN multilayer film  biocompatibility  laminated characteristic  adhesive force  toughness  
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