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飞秒脉冲激光沉积Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究
作者姓名:周幼华  郑启光  杨光  龙华  陆培祥
作者单位:华中科技大学激光技术国家重点实验室,江汉大学物理与信息工程学院 武汉 430056,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉 430074,武汉 430074,武汉 430074,武汉 430074,武汉 430074
基金项目:武汉市青年晨光计划(20035002016-15)
摘    要:采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜.X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm.在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择优取向.测量了薄膜的电滞回线和Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的,Ⅰ-Ⅴ特性曲线和铁电性的关联性.a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC/cm2,矫顽力Ec=48kV/cm.

关 键 词:飞秒  脉冲激光沉积法(PLD)  钛酸铋  铁电薄膜
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