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材料制备工艺
摘    要：9904617横向固相外延生长及其影响因素的研究[刊]/罗南林 //半导体技术.—1998,23(5).—51～53(DC)9904618SiC 晶体生长和应用[刊]/邓志杰//半导体技术.—1998,23(5).—13～17(DC)
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