| 微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究 |
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| 引用本文： | 邱燕飞,王成勇,宋月贤,王军. 微磨料空气射流加工玻璃微流道结构研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2009, 0(3) |
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| 作者姓名： | 邱燕飞 王成勇 宋月贤 王军 |
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| 作者单位： | 1. 广东工业大学机电学院,广州,510090
2. 新南威尔士大学,澳大利亚 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，广东省科技计划国际合作项目 |
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| 摘 要： | 采用微磨料气射流加工技术(MAJM),对普通硅酸盐玻璃进行微流道槽加工.对通过掩膜加工与非掩膜加工效果相比较,得出在掩膜加工过程中,由于磨料的二次反弹冲蚀作用,所加工出的槽,槽壁较陡;在掩膜加工过程中,改变喷射距离、喷射压力、喷嘴移动速度和磨料流量四个加工参数,对加工槽的轮廓、加工过程中的材料去除率、磨料的流量效应进行研究,得出当喷射距离为4 mm,喷射压力为0.5 MPa,喷嘴移动速度为1.0 mm/s,磨料流量为0.117 g/s时,加工效果最好.通过倾斜喷射与掩膜加工相结合,研究了磨料磨粒的二次反弹冲蚀现象,为复杂三维微结构的加工,提供了一种新方法.
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| 关 键 词： | 微磨料空气射流 微流道 掩膜 加工轮廓 |
Micro channels machined on glass by micro abrasive jet machining |
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| Qiu Yanfei,Wang Chengyong,Song Yuexian,Wang Jun. Micro channels machined on glass by micro abrasive jet machining[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2009, 0(3) |
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| Authors: | Qiu Yanfei Wang Chengyong Song Yuexian Wang Jun |
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| Affiliation: | 1.Faculty of Mechanical and Electronic Engineering;Guangdong University of Technology;Guangzhou 510006;China;2.New South Wales University;Australia |
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| Abstract: | The micro abrasive jet machining(MAJM) technology was used to make micro channels on the glass.Based on the tests with or without mask,the structure profile,erosion rate of material and flux effect of abrasive grits,under different machining parameters,such as nozzle standoff distance,air pressure,nozzle sweeping speed,and abrasive grits flow rate,are investigated.The results show that,when the nozzle standoff distance is 4 mm,the air pressure is 0.5 MPa,the nozzle sweeping speed is 1.0 mm/s,the abrasive ma... |
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| Keywords: | micro abrasive jet machining micro channel masking structure profile |
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