| LSIC版图场分割数据处理的研究 |
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| 引用本文： | 胡咏梅,贾磊.LSIC版图场分割数据处理的研究[J].山东大学学报(工学版),2003,33(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 胡咏梅 贾磊 |
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| 作者单位： | 250061,山东省,济南市,山东大学,控制科学与工程学院 |
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| 基金项目： | 国家 8 6 3高科技项目 (编号 :2 0 0 1AA4 1 342 0 )资助 |
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| 摘 要： | 本文介绍了LSIC中版图场分割数据处理的方法 ,着重介绍了凹多边形版图场分割数据处理算法 ,并分析了一种凹多边形版图图形化为凸多边形图形集合的算法
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| 关 键 词： | 数据处理 电子束 软件/版图场分割 |
| 文章编号： | 1000-5323(2003)01-0001-04 |
| 修稿时间： | 2002年6月10日 |
A STUDY OF DATA PROCESSING ALGORITHM ON FIELD DIVISION IN LSIC PATTERN |
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| HU Yong mei,JIA Lei.A STUDY OF DATA PROCESSING ALGORITHM ON FIELD DIVISION IN LSIC PATTERN[J].Journal of Shandong University of Technology,2003,33(1):1-4. |
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| Authors: | HU Yong mei JIA Lei |
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| Abstract: | A method of data processing of field division in LSIC pattern is introduced, in which concave polygon pattern is emphasized. A method to show how the concave polygon pattern being transformed into convex one is analysed in detail. |
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| Keywords: | Data processing Electron beam Software for/Pattern field division |
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