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| 超深亚微米（VDSM）Foundry（三）——各种存储器 | |
| 作者姓名： | 张汝京 杨士宁 刘越 |
| 作者单位： | [1]中芯国际总裁兼执行长 [2]中芯国际逻辑技术发展及制造中心副总裁 [3]北京大学副教授 |
| 摘 要： | 本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章，介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况，本刊将陆续发表，以飨读者。 |
| 关 键 词： | 超深亚微米 VDSM 存储器 EPROM OTPROM Flash存储器 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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