| X-Y精密数控工作台宏平台的设计及实现 |
| |
| 引用本文： | 谢扬球,谭永红,雷兴华,李若愚. X-Y精密数控工作台宏平台的设计及实现[J]. 桂林电子科技大学学报, 2005, 25(3): 64-67 |
| |
| 作者姓名： | 谢扬球 谭永红 雷兴华 李若愚 |
| |
| 作者单位： | 桂林电子工业学院,计算机系,广西,桂林,541004;桂林电子工业学院,计算机系,广西,桂林,541004;桂林电子工业学院,计算机系,广西,桂林,541004;桂林电子工业学院,计算机系,广西,桂林,541004 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(50265001)，广西自然科学基金(0339068) |
| |
| 摘 要： | 一种实际应用于X-Y精密数控工作台之中的宏平台,其摈弃了减速系统,具有结构简单、摩擦阻力小、动作灵敏和扩展潜力强等特点。经试验运行,宏平台的技术指标,完全满足X-Y精密数控工作台系统的使用要求,同时也可单独用于要求大行程、中等位移精度的实际生产过程中。
|
| 关 键 词： | 宏平台 机构设计 精密位移 设计指标 |
| 文章编号： | 1001-7437(2005)03-64-04 |
| 修稿时间： | 2005-04-07 |
The Design And Implementation of the Ultra-precision X-Y Macro-displacement Stage |
| |
| XIE Yang-qiu,TAN Yong-hong,LEI Xing-hua,LI Ruo-yu. The Design And Implementation of the Ultra-precision X-Y Macro-displacement Stage[J]. Journal of Guilin University of Electronic Technology, 2005, 25(3): 64-67 |
| |
| Authors: | XIE Yang-qiu TAN Yong-hong LEI Xing-hua LI Ruo-yu |
| |
| Abstract: | This paper describes the design process about the linear displacement measuring system for wafer stage. According to the demand of positioning accuracy, renishaw RGH25F linear encoder is chosen to be position detector, then the interface to TMS320LF2407A DSP controller is designed. Experimental results show the system meets practical application and the system has many advantages: high repeating precision,good stability and low cost. |
| |
| Keywords: | wafer stage displacement measurement linear encoder DSP |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
