微胶体推进器电极设计中的电场分析和电击穿问题研究 |
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引用本文: | 熊继军,周兆英,叶雄英,王晓浩,冯焱颖. 微胶体推进器电极设计中的电场分析和电击穿问题研究[J]. 测试技术学报, 2002, 16(Z2): 981-986 |
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作者姓名: | 熊继军 周兆英 叶雄英 王晓浩 冯焱颖 |
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作者单位: | 清华大学精密仪器与机械学系 |
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摘 要: | 随着微小卫星的研究,基于MEMS的微胶体推进器的研究也受到科技工作者的重视.在微胶体推进器的研究过程中,有两个问题是必需考虑的首先,是胶体推进器源极和抽取极之间的电场分布问题,在源极顶端形成的场强必须足够高能够引导电喷的形成.其次,必须考虑两极间的电击穿问题.本文主要通过ANSYS对第一个问题进行分析,对第二个问题则主要考虑使用实验的手段进行研究.结果表明,以重量比103掺杂NaI的甲酰胺溶液为推进工质,源极的起动电场大约为107v/m,在设计的尺度范围内,这一要求是较容易满足的.尽管由于ICP长时间刻蚀源极表面有很大的突起,但电击穿问题在高真空条件下不会影响到两极间电压加到7000V.
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关 键 词: | MEMS 微胶体推进器 电场 电击穿 |
修稿时间: | 2002-03-23 |
Electrical field and electrical breakdown research on the design for electrodes of micro colloid thruster |
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Abstract: | |
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