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有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究
引用本文:马瑾,李淑英,马洪磊,赵俊卿,叶丽娜.有机薄膜衬底ITO透明导电膜的制备及光电特性的研究[J].太阳能学报,1998,19(1).
作者姓名:马瑾  李淑英  马洪磊  赵俊卿  叶丽娜
摘    要:采用真空反应蒸发技术,在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜,对薄膜的结构和光电特性进行了研究.制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达84%,电阻率为8.23×10-4Ωcm,载流子浓度为1.72×1020cm-3.

关 键 词:ITO薄膜  透过率  电阻率

PERFORMANCE STUDY OF OPTOELECTRICAL PROPERTIES OF ITO FILMS DEPOSITED ONTO POLYESTER SUBSTRATES BY EVAPRATING METHOD
Ma Jin,Li Shuying,Ma Honglei,Zhao Jiunqing,Ye Lina.PERFORMANCE STUDY OF OPTOELECTRICAL PROPERTIES OF ITO FILMS DEPOSITED ONTO POLYESTER SUBSTRATES BY EVAPRATING METHOD[J].Acta Energiae Solaris Sinica,1998,19(1).
Authors:Ma Jin  Li Shuying  Ma Honglei  Zhao Jiunqing  Ye Lina
Abstract:
Keywords:
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