涡轮分子泵的压缩比和泄漏 |
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引用本文: | Casaro,F 王兰.涡轮分子泵的压缩比和泄漏[J].四川真空,1996(1):34-40. |
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作者姓名: | Casaro F 王兰 |
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摘 要: | 涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。
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关 键 词: | 涡轮分子泵 分子真空泵 压缩比 泄漏 |
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