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| 抽速可达40米^3／秒的高能力涡轮分子泵系列 | |
| 引用本文： | Saks.,GL 王丽.抽速可达40米^3／秒的高能力涡轮分子泵系列[J].四川真空,1996(3):32-36. |
| 作者姓名： | Saks. GL 王丽 |
| 摘 要： | 本文记述了抽速为５－２０米＾３／秒（对Ｈｅ）的高可靠性涡轮分子泵及其参数，经系列泵根据双流层原理制成，其极限压强大的约为５×１０＾－８Ｐａ；压缩比为（０．６－２．１）×１０＾４（对Ｈ２）和（０．９～３．２）×１０＾５（对Ｈｅ）溅余气体的主要成分是氢气，同时，此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出，在泵设计中对其入口法兰不同位置进行了设想（角度为４５°）此系列泵对突然性 |
| 关 键 词： | 真空泵 涡轮分子泵 抽速 参数 |
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