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双异质结激光器键合应力与形貌的观察
作者姓名:刘弘度  崔晓明
作者单位:北京大学物理系,北京大学物理系
摘    要:GaAs-GaAlAs双异质结激光器的键合工艺,要求焊料沾润良好以减小器件的热阻,又不因GaAs与金属热沉的热膨胀系数不同而产生应力,造成激光器快速退化。本文采用光测弹性力学方法来检验健合工艺引进的应力。同时通过

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