| 多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 李淑英,宋琛.多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺研究[J].表面技术,2006,35(3):33-35. |
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| 作者姓名： | 李淑英 宋琛 |
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| 作者单位： | 大连理工大学化工学院,辽宁,大连,116012;大连理工大学化工学院,辽宁,大连,116012 |
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| 摘 要： | 为了得出多孔阳极氧化铝膜的最佳制备工艺,利用正交试验法研究了制备多孔阳极氧化铝膜的影响因素:氧化时间、氧化电压和扩孔时间,分别讨论了各影响因素对阳极氧化铝膜的单独作用;通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪等观测了阳极氧化铝膜的形貌和结构特征,结果表明:氧化膜上的微孔分布均匀,孔径大小基本相同,平均孔径约为150nm,孔密度约为2.5×109个/cm2;得出阳极氧化最佳制备工艺:温度20℃,反应时间120min,反应电压115V,扩孔时间6min.
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| 关 键 词： | 阳极氧化铝 制备 扩孔 工艺参数 氧化膜 |
| 文章编号： | 1001-3660（2006）03-0033-03 |
| 收稿时间： | 2006-04-04 |
| 修稿时间： | 2006-04-04 |
Study on Optimal Technique for Fabricating Porous Anodic Aluminum Oxide Membrane |
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| LI Shu-ying,SONG Chen.Study on Optimal Technique for Fabricating Porous Anodic Aluminum Oxide Membrane[J].Surface Technology,2006,35(3):33-35. |
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| Authors: | LI Shu-ying SONG Chen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Anodic aluminum oxide Preparation Bore-enlarging Technological parameter Oxide film |
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