| 低方阻、高透光度复合透明导电膜的研制 |
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| 引用本文： | 金扬利,邱阳,祖成奎,刘永华. 低方阻、高透光度复合透明导电膜的研制[J]. 真空, 2012, 49(5): 32-34 |
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| 作者姓名： | 金扬利 邱阳 祖成奎 刘永华 |
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| 作者单位： | 中国建筑材料科学研究总院,北京,100024 |
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| 摘 要： | 摘要:针对低方阻、高透光度透明导电膜的要求,利用薄膜光学干涉原理,设计了ITO+Si02复合型的透明导电膜；研究了基底温度、沉积速率、充氧量等工艺参数对ITO膜的影响；利用优化的工艺参数成功制备了复合透明导电膜.测试结果表明,膜层性能优异,能够满足使用要求.
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| 关 键 词： | 透明导电膜 透光度 方阻 复合 |
Fabrication of composite transparent conductive thin film with low sheet resistance and high transmittance |
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| JIN Yang-li , QIU Yang , ZU Cheng-kui , LIU Yong-hua. Fabrication of composite transparent conductive thin film with low sheet resistance and high transmittance[J]. Vacuum(China), 2012, 49(5): 32-34 |
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| Authors: | JIN Yang-li QIU Yang ZU Cheng-kui LIU Yong-hua |
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| Affiliation: | (China Building Materials Academy,Beijing 100024,China) |
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| Abstract: | |
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