| 采用不同载气混合B_3N_3H_6原料制备B－N薄膜 |
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| 引用本文： | 雷明凯,马腾才. 采用不同载气混合B_3N_3H_6原料制备B－N薄膜[J]. 无机材料学报, 1996, 0(2) |
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| 作者姓名： | 雷明凯 马腾才 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家联合实验室 |
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| 摘 要： | 采用Ｎ２、Ｈ２和Ａｒ三种载气混合的Ｂ３Ｎ３Ｈ６原料，余辉微波等离子体增强化学气相沉积ＢＮ薄膜．通过漫反射富氏变换红外光谱，Ｋｎｏｏｐ硬度和附着性划痕试验分析薄膜的结构，成分和性能．结果表明，Ｎ２和Ｈ２混合的Ｂ３Ｎ３Ｈ６原料制备的薄膜具有ｃ～ＢＮ和ｈ－ＢＮ双相组织，Ａｒ混合的Ｂ３Ｎ３Ｈ６原料具有ｈ－ＢＮ单相组织．载气直接参与Ｂ３Ｎ３Ｈ６气相合成ＢＮ的反应过程，决定薄膜的结构特征，影响薄膜的性能．
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| 关 键 词： | BN薄膜，B_3N_3H_6，载气，微波等离子体，等离子体增强化学气相沉积 |
Preparation of B-N Films by Remote Microwave Plasma Enhanced CVD from Borazine with Nitrogen,Hydrogen,and Argon |
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| Let Mingkai, Ma Tengcai. Preparation of B-N Films by Remote Microwave Plasma Enhanced CVD from Borazine with Nitrogen,Hydrogen,and Argon[J]. Journal of Inorganic Materials, 1996, 0(2) |
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| Authors: | Let Mingkai Ma Tengcai |
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| Keywords: | BN films borazine carrier gas microwave plasma PECVD |
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