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智能化电容式薄膜厚度在线检测仪
引用本文:
刘冬春,吴小津.智能化电容式薄膜厚度在线检测仪[J].计量技术,1998(12):7-9.
作者姓名:
刘冬春
吴小津
作者单位:
天津理工学院,天津大学精仪学院
摘 要:
本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例,简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。
关 键 词:
非接触,电容测微仪,智能化
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