首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制
引用本文:李刘合,夏立芳.电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制[J].真空科学与技术,1999,19(6):470-474.
作者姓名:李刘合  夏立芳
作者单位:哈尔滨工业大学材料学院
摘    要:研制具空阴极弧离子镀引弧器,分析了其工作原理及工作时序,给出了」它的关键部分的电路,介绍了它的离子镀引弧器的性能及特点。

关 键 词:真空阴极弧  离子镀  引弧器  电路  电子式  原理
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号