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电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制
作者姓名:李刘合 夏立芳
作者单位:哈尔滨工业大学材料学院
摘    要:研制具空阴极弧离子镀引弧器,分析了其工作原理及工作时序,给出了」它的关键部分的电路,介绍了它的离子镀引弧器的性能及特点。

关 键 词:真空阴极弧 离子镀 引弧器 电路 电子式 原理
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