平面天线结构对电场强度分布的影响

建立电感耦合等离子体源（ＩＣＰＳ）平面天线的电磁场模型，并进行模拟计算。计算结果表明，天线环数较多时，电场强度分布较均匀，基片上离子流密度分布较均匀。若由平面形改为螺旋帽形，能改善电场强度分布，从而改善基片上离子流密度分布的均匀性。还讨论了天线结构对电场强度的影响。