KM6热沉的检漏技术 |
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引用本文: | 李智敏,李凤玲.KM6热沉的检漏技术[J].真空科学与技术,1999,19(10):199-202. |
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作者姓名: | 李智敏 李凤玲 |
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作者单位: | 北京有色金属研究总院 |
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摘 要: | KM6是我国新研制的一台大型空间环境模拟设备,热沉是该设备中的重要组成部分。由于热沉内通的是一-196℃的液氮或+100℃的热氮气,最大内压可达1.6MPa, 它又是放在一个5×10^-5Pa的真空容器内,因此对热沉在加工过程中的检漏提出了非常苛刻的要求。本介绍了所采用的并为实践证明是成功的检漏技术。
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关 键 词: | 空间环境 模拟设备 热沉漏率 氦质谱检漏 检漏 |
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