ZnO薄膜的晶体性能的分析 |
| |
引用本文: | 李剑光,汪雷.ZnO薄膜的晶体性能的分析[J].真空科学与技术,1999,19(5):349-352. |
| |
作者姓名: | 李剑光 汪雷 |
| |
作者单位: | 浙江大学硅材料国家重点实验室 |
| |
摘 要: | 在硅基上制备了c轴取向高度一致的ZnO薄膜,这将有可能成为新型GaN单晶薄膜的过渡层,对ZnO薄膜的晶体性能了进行了分析,研究了不同衬底和不同衬底温度对ZnO薄膜的结晶状况的影响,并着重用TEM研究了硅基ZnO薄膜的晶体性能。
|
关 键 词: | 晶体 性能 过渡层 氧化锌 薄膜 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|