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| 气相和溶液多硫化物钝化InP表面的XPS和AFM研究 | |
| 引用本文： | 陈维德,蔡永康.气相和溶液多硫化物钝化InP表面的XPS和AFM研究[J].真空科学与技术,1999,19(3):177-181. |
| 作者姓名： | 陈维德 蔡永康 |
| 作者单位： | [1]中国科学院半导体所 [2]香港中文大学化学系 |
| 摘 要： | 利用Ｘ射线光电子谱和原子力显微镜研究经气要和溶液钝化的ＩｎＰ表面的化学键合、表面残余氧含量、表面刻效应和粗糙度。结果表明，采用气相多硫化物钝化可以获得均匀、光滑和可重复的表面质量，但其热稳定性不如溶液多硫化物钝化的ＩｎＰ表面好。 |
| 关 键 词： | 表面钝化 XPS AFM 气相 溶液 磷化铟 钝化 |
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