GCr15钢等离子体基离子注入Ti和C混合层的XPS研究

用Ｘ射线光电子谱研究了ＧＣｒ１５轴承钢不平衡磁控溅射沉积Ｔｉ，继之等离子体基离子注入碳的等离子体基离子注入混合层的Ｃ，Ｔｉ浓度深度分布及其化学结构。表明混合层的最表层为碳沉支，其Ｃｌｓ谱峰呈类金刚石特征，喇曼光谱肯定辽一特征。碳沉积层下面为Ｃ－Ｔｉ混合区，Ｔｉ和Ｃ各以游离态和化合物态存在。混合层内Ｔｉ和Ｃ浓度沿层深连续变化，无突变区，在原Ｔｉ沉积层与基材轴承钢发生反冲增强扩散现象。