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| 离子束辅助沉积MoS2复合膜的XPS和ESR特性分析 | |
| 引用本文： | Gou富均 王培禄.离子束辅助沉积MoS2复合膜的XPS和ESR特性分析[J].真空科学与技术,1999,19(2):85-88. |
| 作者姓名： | Gou富均 王培禄 |
| 作者单位： | [1]电子科技大学材料系 [2]四川大学原子核科学技术研究所 |
| 摘 要： | 通过ＩＢＡＤ技术制备了ＭｏＳ２＋Ａｇ（Ｃｕ）复合膜，并利用ＸＰＳ和ＥＳＲ考察了复合膜的氧化情况。发现在ＲＨ为６０％的大气环境下，Ｃｕ的掺入加速了ＭｏＳ２的氧化，相反Ａｇ的加入却使ＭｏＳ２的氧化受到抑制；ＸＰＳ发现ＭｏＳ２＋Ｃｕ复合膜中存在Ｍｏ＾６＋，ＥＳＲ却并没有发现中间态Ｍｏ＾５＋；而ＸＰＳ没有检测到ＭｏＳ２＋Ａｇ膜中有Ｍｏ＾６＋，ＥＳＲ却发现Ｍｏ＾５＋。这说明Ｍｏ＾５＋受化学环境影响较大。 |
| 关 键 词： | 抗湿性能 离子束辅助沉积 复合膜 二硫化钼 氧化 |
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