使用扫描力显微镜测量表面电容 |
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引用本文: | 张兆祥,赵兴钰.使用扫描力显微镜测量表面电容[J].真空科学与技术,1999,19(10):244-248. |
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作者姓名: | 张兆祥 赵兴钰 |
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作者单位: | 北京大学电子学系 |
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摘 要: | 叙述了两种类型(接触模式和非接触模式)扫描电容显微镜的工作原理,并叙述了不同类型扫描电容显微镜的应用领域。接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容像和载流子密度像,非接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容梯义像和分布像。
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关 键 词: | 扫描力显微镜 表面电容 测量 半导体器件 |
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