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杂志ISSN号
使用扫描力显微镜测量表面电容
作者姓名:
张兆祥 赵兴钰
作者单位:
北京大学电子学系
摘 要:
叙述了两种类型(接触模式和非接触模式)扫描电容显微镜的工作原理,并叙述了不同类型扫描电容显微镜的应用领域。接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容像和载流子密度像,非接触模式扫描电容显微镜可以得到样品形貌像、电容梯义像和分布像。
关 键 词:
扫描力显微镜 表面电容 测量 半导体器件
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