|
|||||
|
|
| 极高真空溅射离子泵的研制 | |
| 引用本文： | 吴魁.极高真空溅射离子泵的研制[J].真空科学与技术,1999,19(10):8-11. |
| 作者姓名： | 吴魁 |
| 作者单位： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心 |
| 摘 要： | 研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。 |
| 关 键 词： | 极高真空 潘宁放电 抽束曲线 溅射离子泵 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |