| 一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计 |
| |
| 引用本文： | 王兴,王静辉,白雪.一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计[J].计算机测量与控制,2015,23(8):2896-2899, 2907. |
| |
| 作者姓名： | 王兴 王静辉 白雪 |
| |
| 作者单位： | 太原科技大学 计算机科学与技术学院,太原 030024,杰莱特苏州精密仪器有限公司,江苏 苏州 215600,杰莱特苏州精密仪器有限公司,江苏 苏州 215600 |
| |
| 基金项目： | 国家国际科技合作专项资助(2014DFR70280)。 |
| |
| 摘 要： | 目前国内外的真空离子镀膜控制软件,都不具有重构功能,导致设备的功能有限,也不能任意修改镀膜程序,且自动化程度也不高；针对这种情况,设计了一种控制软件,以工业计算机为核心,使用Visual Basic.net编程语言编制软件,采用专家系统结构,在Windows操作系统环境下,通过计算机标准接口,控制真空设备中各种常用的部件,可根据产品的需求灵活配置真空镀膜设备;建立了控制指令集,可支持用户自选的光学膜厚仪,具有自主编程功能,可按不同工艺重构镀膜程序;该控制软件已经成功的应用于真空离子溅射镀膜设备,实现了计算机对镀膜设备的自动化智能控制,以及镀膜过程的24小时无人值守。
|
| 关 键 词： | 离子束溅射技术 真空镀膜 控制软件 指令集 重构 |
| 收稿时间： | 2014/10/29 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2014/12/23 0:00:00 |
Design of Vacuum Ion Beam Sputter Coating Control Software |
| |
| Wang Xing,Wang Jinghui and Bai Xue.Design of Vacuum Ion Beam Sputter Coating Control Software[J].Computer Measurement & Control,2015,23(8):2896-2899, 2907. |
| |
| Authors: | Wang Xing Wang Jinghui and Bai Xue |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《计算机测量与控制》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《计算机测量与控制》下载全文 |
|
