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| {100}织构化学气相沉积金刚石薄膜的取向生长过程 | |
| 作者姓名： | 朱宏喜 顾超 薛永栋 任凤章 毛卫民 |
| 作者单位： | 1. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳471003／河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室,河南洛阳471003 2. 河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛阳,471003 3. 中信重工机械股份有限公司,河南洛阳,471003 4. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，河南科技大学博士科研启动基金，河南科技大学校基金 |
| 摘 要： | 为了研究化学气相沉积（CVD）金刚石薄膜生长过程中{100}织构的形成机理，采用x射线衍射、电子背散射衍射和扫描电镜研究了CVD自支撑金刚石薄膜的宏观织构、微区晶界分布和表面形貌。结果表明：金刚石薄膜以{111}面或{100}面为生长前沿面都能够形成{100}织构，但形成的表面形貌不同；通过吸附CH3-和CH3-在{1... |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 化学气相沉积 {100}织构 形成机理 形貌 晶体生长 生长过程 |
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