离子镀技术及其发展（下）

五．离子镀的发展。离子镀技术兴起30多年来取得了巨大的进步，在我国研究开发应用离子镀技术也有近20年历程，现今已形成相当规模的产业。目前，在装饰镀膜行业中以磁控溅射离子镀和阴极电弧镀为主：在工具超硬膜行业中，以阴极电弧镀为主力，空心阴极离子镀和热丝弧离子镀也有采用，但不盛行，并且渐退出：在光学膜行业，则以活性反应蒸镀和磁控溅射为主。近年来，以全新的理论为基础开发的新的离子镀方法似乎尚未出现，但对已有的方法进行了大量的改进、革新．完善工作。