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Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入
引用本文:王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明.Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入[J].表面工程,1997(2):18-21.
作者姓名:王松雁  田修波  汤宝寅  陈轶斌  王小峰  魏强  曾照明
摘    要:本文利用电感耦台的射频激蛐产生的氨等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入.处理结果发现,随射频功率及氨离子注入剂量增加,Ti6A14V表面显微硬度增加;注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响,而且注入能量不同,最佳注入剂量电相应变化;射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用。

关 键 词:剂量  等离子体浸没离子注入  表面显微硬度  射频  增加  氨等离子体  处理结果  氮化  摩擦磨损性能  应变
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