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| Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入 | |
| 引用本文： | 王松雁,田修波,汤宝寅,陈轶斌,王小峰,魏强,曾照明.Ti6A14V的射频激励等离子体浸没离子注入[J].表面工程,1997(2):18-21. |
| 作者姓名： | 王松雁 田修波 汤宝寅 陈轶斌 王小峰 魏强 曾照明 |
| 摘 要： | 本文利用电感耦台的射频激蛐产生的氨等离子体对Ti6A14V进行等离子体浸没离子注入．处理结果发现，随射频功率及氨离子注入剂量增加，Ti6A14V表面显微硬度增加；注入能量及剂量对材料摩擦磨损性能有显著影响，而且注入能量不同，最佳注入剂量电相应变化；射频激励下等离子体浸没离子注入具有注入和氮化双重作用。 |
| 关 键 词： | 剂量 等离子体浸没离子注入 表面显微硬度 射频 增加 氨等离子体 处理结果 氮化 摩擦磨损性能 应变 |
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