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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
一种结构改进了的硅基微静电马达
作者姓名:
孙曦庆
李志坚
费圭甫
刘理天
作者单位:
清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所 北京 100084,北京 100084,北京 100084,北京 100084
摘 要:
本文介绍一种结构改进了的硅基微静电马达。通过在微马达转子下面集成光伏器件实现了对马达转速的片内检测,这对于实现转速自动控制和制作各种传感器有重大意义。利用复合膜牺牲层腐蚀技术制成了一种曲颈状轴承,该轴承能够大大减小马达转动时的摩擦阻力矩。微静电马达转子直径分100和120μm两种,膜厚约2μm,定子与转子的空气间隙为2μm。初始测量结果表明该微马达有良好的性能,具有实用化前景。
关 键 词:
微电机 硅基 微型涡轮机 集成电路
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