光斑及线重合度对飞秒激光环形刻蚀SiC/SiC复合材料的影响

采用飞秒激光对SiC/SiC复合材料进行环形扫描刻蚀去除试验，分析脉冲能量、光斑重合度及线重合度对加工区域材料残留及环形凹槽外轮廓的影响。结果表明：光斑重合度、线重合度和脉冲能量显著影响光束扫描面积内的能量密度，材料去除量随扫描能量密度的增大而增大。在较小光斑重合度和线重合度条件下，即能量密度较小时，刻蚀槽外轮廓呈现锯齿状，且扫描轨迹间有较多材料残留。随着光斑重合度和线重合度的增大，外轮廓及底面趋于光滑。