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| 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统 | |
| 引用本文： | 许立梓,李传芳,林文豪,郑锐生. 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(2) |
| 作者姓名： | 许立梓 李传芳 林文豪 郑锐生 |
| 作者单位： | 1. 广东工业大学电气工程及自动化系,广东,广州,510090 2. 汕头协华电脑公司,广东,汕头,515000 3. 汕头市凯达泓集团包装材料公司,广东,汕头,515065 |
| 摘 要： | 介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件． |
| 关 键 词： | 计算机测量系统 β射线测厚 薄膜厚度 |
Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line |
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| Xu Lizi,Li Chuanfang,Lin Wenhao,Zhen Ruisheng. Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line[J]. Journal of Guangdong University of Technology, 1999, 16(2) | |
| Authors: | Xu Lizi Li Chuanfang Lin Wenhao Zhen Ruisheng |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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