| 钛酸铋陶瓷靶材的热压烧结 |
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| 引用本文： | 傅力,王传彬,黄攀,沈强,张联盟.钛酸铋陶瓷靶材的热压烧结[J].陶瓷学报,2010,31(2):221-225. |
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| 作者姓名： | 傅力 王传彬 黄攀 沈强 张联盟 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070 |
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| 基金项目： | 科技部国际科技合作项目，湖北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 纯相、高致密度、结晶良好的陶瓷靶材是物理气相沉积薄膜的前提.采用热压烧结方法制备钛酸铋(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材,重点研究了制备工艺对靶材的物相、微观结构和致密度的影响.以Bi2O3和TiO2微粉为原料,采用固相反应法,在800℃合成出纯相的Bi4Ti3O12粉体;加入过量3wt%的Bi2O3,可以有效防止烧结过程中因Bi挥发所产生的杂相,得到纯相的Bi4Ti3O12陶瓷;采用热压烧结方法,进一步实现了Bi4Ti3O12粉体的致密烧结,确定了适宜的制备条件为850℃,30MPa,2b,在该条件下制备的Bi4Ti3O12陶瓷致密度达到99%,晶粒呈片层状,大小约2-4μm,可满足靶材制备薄膜的需求.
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| 关 键 词： | 陶瓷靶材 热压烧结 |
PREPARATION oF Bi4Ti3O12 CERAMIC TARGET BY HOT-PRESS SINTERING |
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| Fu Li,Wang Chuanbin,Huang Pan,Shen Qiang,Zhang Lianmeng.PREPARATION oF Bi4Ti3O12 CERAMIC TARGET BY HOT-PRESS SINTERING[J].Journal of Ceramics,2010,31(2):221-225. |
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| Authors: | Fu Li Wang Chuanbin Huang Pan Shen Qiang Zhang Lianmeng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Bi4Ti3O12 |
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