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前言

摘要：	前言半导体集成电路（ＩＣ）和液晶显示器（ＬＣＤ），是以微细加工技术为支柱的当今两大热门产业。前者是以动态存储器（ＤＲＡＭ）为代表，具有人眼看不见的记忆功能的器件，加工线宽由微米、亚微米向纳米级发展，已形成“超微细加工技术”；后者是以薄膜晶体管液晶显示...
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