| MEMS三维动态测试系统的同步控制方法 |
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| 引用本文： | 谢勇君,刘世元,史铁林,来五星,白金鹏,刘胜. MEMS三维动态测试系统的同步控制方法[J]. 仪器仪表学报, 2005, 26(10): 1089-1093 |
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| 作者姓名： | 谢勇君 刘世元 史铁林 来五星 白金鹏 刘胜 |
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| 作者单位： | 华中科技大学微系统研究中心,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家863计划(2002AA404100)资助项目 |
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| 摘 要： | 为使M EM S(m icro e lectro m echan ica l system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法。详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术。通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性。
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| 关 键 词： | 同步控制 微机电系统 动态测试 频闪 相移 相对延时 |
| 修稿时间： | 2004-02-01 |
A Synchronous-control Method of MEMS 3D Dynamic Measurement System |
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| Xie Yongjun,Liu Shiyuan,Shi Tielin,Lai Wuxing,Bai Jinpeng,Liu Sheng. A Synchronous-control Method of MEMS 3D Dynamic Measurement System[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2005, 26(10): 1089-1093 |
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| Authors: | Xie Yongjun Liu Shiyuan Shi Tielin Lai Wuxing Bai Jinpeng Liu Sheng |
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| Abstract: | Based on the testing principle and the requirements for synchronous-control of MEMS 3D dynamicmeasurement system,a computer control method is proposed to automatically control the MEMS static anddynamic measurement process.The development and the key techniques for realization of synchronous-controlmodule are discussed.The precision and reliability of the control module are illustrated with the study of thestatic characterizations of a pressure sensor and the dynamic behavior of a microgyroscope. |
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| Keywords: | Synchronous-control MEMS Dynamic measurement Stroboscopic Phase-shifting Relativetime delay |
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