微机械及其相关技术

本文介绍了八十年代后期崛起的微机械技术发展动向概况,提出了从机电一体化角度考虑的微机械的定义,并从微机械的应用技术角度出发,归纳了发展微机械的几个主要相关技术:微机械的机构与结构设计、微马达和微传动、微传感器、微控制——智能系统、微电池电源以及材料与三维蚀刻工艺。最后对我国发展微机械技术提出三点建议。